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SEMI F37 - ガス供給システム構成部品の表面粗さパラメータの算出方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年2月発行。前版は2004年11月発行。
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。
この試験方法の目的は，ガス供給システム構成部品上で測定される表面粗さパラメータの数値を算出する方法を定義することである。この試験方法の適用が目的とするのは，この試験方法の利用者間で比較可能なデータを作成することである。
Referenced SEMI Standards
None.
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