SEMI C71 - 三塩化ホウ素（BCI3）の仕様およびガイド -

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用される三塩化ホウ素(BCl₃)の仕様およびガイドを提供することである。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI C3 — Specifications for Gases

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