SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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3D00300 - SEMI 3D3 - Guide for Multiwafer Transport and Storage Containers for 300 mm, Thin Silicon Wafers on Tape Frames - SEMI Dev 2
SEMI 3D3 - Guide for Multiwafer Transport and Storage Containers for 300 mm, Thin Silicon Wafers on Tape Frames Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
3D00200 - SEMI 3D2 - Specification for Glass Carrier Wafers for 3DS-IC Applications
SEMI 3D2 - Specification for Glass Carrier Wafers for 3DS-IC Applications Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
3D00100 - SEMI 3D1 - スルーシリコンビア（TSV）の幾何学的計測のための用語
SEMI 3D1 - スルーシリコンビア（TSV）の幾何学的計測のための用語 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
A00100 - SEMI A1 - Specification for Production Equipment Smart Connection Interface (PESCI) - SEMI Dev 2
SEMI A1 - Specification for Production Equipment Smart Connection Interface (PESCI) Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
3D00100 - SEMI 3D1 - Terminology for Through Silicon via Geometrical Metrology - SEMI Dev 2
SEMI 3D1 - Terminology for Through Silicon via Geometrical Metrology Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
PV07300 - SEMI PV73 - Test Method for Thin-Film Silicon Photovoltaic (PV) Modules Light Soaking
SEMI PV73 - Test Method for Thin-Film Silicon Photovoltaic (PV) Modules Light Soaking Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
F00100 - SEMI F2 - Specification for 316L Stainless Steel Tubing for General Purpose Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI F2 - Specification for 316L Stainless Steel Tubing for General Purpose Semiconductor Manufacturing Applications Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
F00100 - SEMI F3 - Guide for Welding Stainless Steel Tubing for Semiconductor Manufacturing Applications
SEMI F3 - Guide for Welding Stainless Steel Tubing for Semiconductor Manufacturing Applications Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
T00700 - SEMI T7 - 二次元マトリクスコードシンボルの両面研磨ウェーハ裏面マーキングの仕様
SEMI T7 - 二次元マトリクスコードシンボルの両面研磨ウェーハ裏面マーキングの仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P00900 - SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス用レジストの機能的なテスト（ガイドライン）
SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス用レジストの機能的なテスト（ガイドライン） Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
E04400 - SEMI E44 - Guide for Procurment and Acceptance of Minienvironments
SEMI E44 - Guide for Procurment and Acceptance of Minienvironments Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
PV05000 - SEMI PV50 - Specification for Impurities in Polyethylene Packaging Materials for Polysilicon Feedstock
SEMI PV50 - Specification for Impurities in Polyethylene Packaging Materials for Polysilicon Feedstock Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €148,95
P03600 - SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡（CD-SEM）用倍率標準試料のガイド
SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡（CD-SEM）用倍率標準試料のガイド Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P04000 - SEMI P40 - 極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様
SEMI P40 - 極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
T01600 - SEMI T16 - 極紫外線マスク自動識別用データマトリクス記号法適用の仕様
SEMI T16 - 極紫外線マスク自動識別用データマトリクス記号法適用の仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
PV02200 - SEMI PV22 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様
SEMI PV22 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P04500 - SEMI P45 - マスク装置向けジョブデック・データフォーマットの仕様
SEMI P45 - マスク装置向けジョブデック・データフォーマットの仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P04400 - SEMI P44 - マスク装置向けオープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード（OASIS®）の仕様
SEMI P44 - マスク装置向けオープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード（OASIS®）の仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P02900 - SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様
SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク（ハーフトーン型位相シフトマスク）およびマスクブランクスに特有な特性の仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P00700 - SEMI P7 - 粘性決定方法，方法A－動粘度
SEMI P7 - 粘性決定方法，方法A－動粘度 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P03100 - SEMI P31 - 化学増幅型（CA）フォトレジストパラメータのカタログ発行の作業方法
SEMI P31 - 化学増幅型（CA）フォトレジストパラメータのカタログ発行の作業方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
T01500 - SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 （コンセプト）
SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 （コンセプト） Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
PV02300 - SEMI PV23 - 結晶シリコン太陽電池（PV）モジュールの輸送環境におけるメカニカル振動試験の方法
SEMI PV23 - 結晶シリコン太陽電池（PV）モジュールの輸送環境におけるメカニカル振動試験の方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
P03900 - SEMI P39 - OASISTM – オープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード（OPEN ARTWORK SYSTEM INTERCHANGE STANDARD）
SEMI P39 - OASISTM – オープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード（OPEN ARTWORK SYSTEM INTERCHANGE STANDARD） Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €177,95
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