SEMI M26 - ウェーハの運搬に使用される100 mm，125 mm，150 mm，200 mmウェーハシッピングボックスの再利用ガイド -

Abstract

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月に www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年に発行，前版は2004年3月に発行された。

 

本文書は100 mm，125 mm，150 mm，200 mm ウェーハシッピングボックスのリユースに関する，ボックス洗浄業者，ウェーハ供給者，ウェーハ利用者のためのガイドである。

 

その目的はウェーハ供給者から顧客への100 mm，125 mm，150 mm，200 mmウェーハの輸送に関する総コストを削減することである。

　

Referenced SEMI Standards

SEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers
SEMI M45 — Specification for 300 mm Wafer Shipping System

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