SEMI C3.47 - 臭化水素（HBr），品質99.98%の仕様 -

Abstract

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1993年発行。前版は2001年11月発行。

　

本文書の目的は，半導体産業にて使用される臭化水素（HBr）の仕様を提供することである。

　

Referenced SEMI Standards

None.

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