SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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M04100 - SEMI M41 - 電源デバイス/IC用シリコン・オン・インシュレーター(SOI)の仕様
M07000 - SEMI M70 - パーシャルサイト平坦度を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
G07300 - SEMI G73 - ワイヤボンディングに関するプル強度のための試験方法
SEMI G73 - ワイヤボンディングに関するプル強度のための試験方法 Sale priceMember Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
G02900 - SEMI G29 - モールディングコンパウンド中の微量異物検査のための試験方法
G01100 - SEMI G11 - 熱硬化性モールディングコンパウンドのラムフォロワー装置によるゲル化時間およびスパイラルフローの推奨作業方法
M06300 - SEMI M63 - 化合物半導体エピタキシャルウェーハに使用するサファイア基板の仕様
G05200 - SEMI G52 - 半導体リードフレームのイオン汚染物の測定のための標準測定法(提案)
G09500 - SEMI G95 - 後工程における450mmウェーハ用テープフレームカセットのためのロードポートの機械的インタフェースの仕様
D06700 - SEMI D67 - FPD偏光板の防汚性と耐薬品性の試験方法
SEMI D67 - FPD偏光板の防汚性と耐薬品性の試験方法 Sale priceMember Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
F04700 - SEMI F47 - 半導体プロセス装置電圧サグ対応力のための仕様
SEMI F47 - 半導体プロセス装置電圧サグ対応力のための仕様 Sale priceMember Price: ₩270
Non-Member Price: ₩686,000
E12300 - SEMI E123 - ハンドラ装置の特定装置モデル(HSEM)のスタンダード
SEMI E123 - ハンドラ装置の特定装置モデル(HSEM)のスタンダード Sale priceMember Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
F05300 - SEMI F53 - サーマル・マスフローコントローラの電磁感受性評価の試験方法
F01900 - SEMI F19 - ステンレススチール部品の接ガス・接液面の表面仕上げのための仕様
F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法
F05700 - SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様
E05403 - SEMI E54.3 - マスフローデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク(SAN)独自のデバイスモデルのためのスタンダード
E14800 - SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCKオブジェクト定義の仕様
SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCKオブジェクト定義の仕様 Sale priceMember Price: ₩135
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E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ/ローダーと装置間のスタンダード(BOLTS-M)インタフェースの機械的仕様
E05420 - SEMI E54.20 - EtherCAT用センサ/アクチュエータネットワーク通信に関するスタンダード
E00100 - SEMI E1 - プラスチックおよびメタルのオープンウェーハキャリアの仕様
E04300 - SEMI E43 - 物体および表面上の静電気測定のためのガイド
SEMI E43 - 物体および表面上の静電気測定のためのガイド Sale priceMember Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
E08000 - SEMI E80 - マスフローコントローラの姿勢感度(取付位置)決定の試験方法
E00600 - SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド
SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド Sale priceMember Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000
E14500 - SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類
SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類 Sale priceMember Price: ₩135
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