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SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書 -
Abstract
本標準由全球環境、衛生及安全技術委員會(환경보건안전기술위원회)技術核可，本版於2012年6月18日由全球審核與覆檢小組委員會核可， 2012年7月間可以於www .semiviews.org는 www.semi.org를 참조하세요.
本文件提供指導用以評估由製造設備(ME)所排放的含氟溫室氣體(F-GHG)。
本文件提供指導用以評估尾氣處理設備對F-GHG破壞或去除效率(DRE)。
本文件也提出製造設備或尾氣處理設備排放減量之持續改善計畫.
適用於本指引的溫室氣體( GHG)為CF4 ， C2F6 ， C3F8 ， cC4F8 ， CHF3 ， SF6與NF3 。
本指引應用於製造設備的F-GHG排放評估.
本指引應用於尾氣處理設備的F-GHG排放評估.
本指引應用於製造設備在化學反應後, F-GHG的消耗,殘留物,副產品或重組之評估.
本指引適用於尾氣處理設備對F-GHG之去除效率(DRE)規格。
建議至少半導體、 TFT-LCD、太陽光電產業使用本指引。
本指引包含下列段落：
- 通用條款
- 基礎配方
- 量測儀器
- F-GHG 에너지의 양
- F-GHG 시계의 시계
- 報告
- 評估資料的保存紀錄
- 里程圖與持續改善
좋은
範疇
限制條件
參考標準與文件
專門用語
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드
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