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SEMI S25 - 過酸化水素の貯蔵 および取り扱いのための安全 가이드 라인 -
Abstract
本standared는 글로벌 환경 보건 및 안전 기술 위원회 입니다 . semiviews.org 또는 www.semi.org 를 통해 2006년 6 월 발표가 가능합니다.
注意: 「注」の表題のついた段落は,本文書の公式な一部ではなく,mata本gaidlineの内容の変更や書き換えを意図したものではない.
本安全gaidlineは,半導体業界와 FPD 業界において過酸化水素の貯蔵および取り扱いのための装置やsystemに適用する最低限の安全衛生基準を示すものである.
本安全導体業界와 FPD業界で一般に用いられる過酸化水素( H2O2 )の濃度(すなわち40% w/w未満の濃度)を対象とする.
本 本 本 ガイドライン 安全 は は は は は として 半導 体 および および フラット パネル ディスプレー ディスプレー 関連 施設 内 における における 化 化 水素 の 貯蔵 貯蔵 貯蔵 貯蔵 取り扱い 取り扱い, 輸送, 分配 を 扱う。。
本安全가이드라인は,以下の内容が記載されている:
- 目的( §1 )
참조된 SEMI 표준
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
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