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SEMI S18 - 가연성 실리콘화합물 の環境，健康，安全に関する 가이드라인 -
Abstract
本安全가이드라인は， 글로벌 환경 보건안전기술위원회で技術的に承認されている。現版は2011年12月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年3月にwww .semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能가 될 수 있습니다 .
注意: 本文書は， 2011 年，全面的に書き換えられた.
本安全gaidlineは，供給から除害まで，可燃性シリコン化合物の貯蔵，取り扱い，および使用に関する最低限の安全および健康の基準となることを目的とする。
本安全gaidlineは，半導体，FPD，PV製造装置，および処理のために可燃性시리콘合化合物を使用するその他の装置に関する最低限の安全および健康の基準となることも目的とする.
本安全gaidlineの範囲内となる可燃性シリコン化合物を，表1に示す.
참조된 SEMI 표준
SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 봉쇄 가이드
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S4 — 분배 캐비닛에 포함된 화학 실린더의 분리에 대한 안전 지침
SEMI S5 — 가스 실린더 밸브의 유량 제한 장치 크기 조정 및 식별을 위한 안전 지침
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
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