SEMI S17 - 無人搬送台車(UTV) 시스템의 보안 가이드라인 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本安全gaidlineは，無人搬送台車（ UTV ）systemに関する安全への配慮事項をまとめたものである。 UTVsystemは，半導体matataはFrattPaneldispray（ FPD ）の工場matataは研究所で材料の移動を自動化するために使用される。 UTV 시스템には，床上走行台車（ FTV ： 플로어 트래블링 vehicle )systemto空間走行台車( OTV : 천정주행차 )systemの両方が含まれる.

本安全가이드라인은 は半導体またはFPD 製造로 UTV およびUTV 시스템に適用される.

 

本安全gaidlineは床上走行と空間走行の両方のUTV およびUTV 시스템を取り扱う。 FTV 시스템には,自動誘導搬送台車（ AGV:자동 guide vehicle ） systemto 軌道誘導搬送台車（ RGV : 레일 가이드 차량 ）systemが含まれる. 車（ OHT: 오버헤드 호이스트 운송 )시스템이 含まれる.

 

本文書への適合評価は, UTV およびUTVSystems べてを対象とすべきであり, これにはレール, 制御盤, 電源盤, 멘테난스/서비작스業スペースからOHTやOHSを移動する リフター等の他に, UTV 의 運転, 멘테난스あるいはサーbissに必要なあらゆる装置が含まれる.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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