SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導體製造装置設計gaid -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責 ： ： 事項 반 スタンダード スタンダード は は は は 投票 により 作成 作成 さ さ さ れ た た 英語 版 版 が 正式 な もの であり であり であり 日本 語 語 版 版 は は 日本 日本 の 利用 者 各位 各位 の 便宜 の に 作成 し た もの もの です です。 が が が 一 一 英語 と 日本 が が が が が が が が が 語 日本 日本 日本 日本 日本 し し し し し し し し し し し し し し し し た もの もの です。 万 が が ∎ある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本standared는， 환경 보건 및 안전 글로벌 기술 위원회 입니다. semiviews.orgおよび www.semi.org 에서 2000년 6월 행사, 2007년 3 월 행사 이전.

　

注意： 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本書は，製品の寿命が尽きた際の半導体製造装置(SME)mataはそのコンポーネントの環境への影響を最小限にするための設計上の指針となるものである.

　

本gaidには，半導体製造装置(SME)mataはそのコンポーネントの製品寿命が尽きた際に廃棄されることによる環境への影響を最小限にするための設計上の考慮事項が記されている.

　

本gaidには，半導体製造装置(SME)mataはそのコンポーーネントの再利用matはrisaicruを促進するための設計上の考慮事項が記されている。

　

本gaidには，以下の内容が含まれる。

• 目的
• 範囲
• 制限
• 参照スタンダード および文書
• 用語

一般概念

材料の選択

再利用matataはrisaicluの可能性の特定

再利用可能またはrisaicruble可能な設計

装置サプライヤが提供すべき文書

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S12 — 장비 오염 제거 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침

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