SEMI S16 - 半導體製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI S16-0307 - 대체됨

개정

Abstract

本基準之技術業經全球環境、衛生及安全委員月會核准。此版本由全球稽核及審查小組委員會於2006年1121日核准出版，並於2007年2月在www.semi.org發行線上版本，同年3月出版光碟版。初版於2000年6月發行。

注意：本文件於2007年全面重新編寫。

本 本 本 係 文件 提供 半導體 製造 設備 設備 ( SME) 的 設計 設計 基準 基準 基準 基準 基準 基準 基準 盡可能 盡可能 減少 設備 或 其 零 組件 在 壽命 壽命 終了 時 對 環境 的 影響。。。

本基準提供設計考量事項，以期盡可能減少SME或其零組件在壽命終了處理階段對環境的影響。

本基準提供設計考量事項，以鼓勵回收利用SME或其零組件。

本基準包含下列章節：

  • 目的

  • 範圍

  • 限制

  • 參考標準及文件

  • 詞彙

  • 一般概念

  • 材料選擇

  • 辨識再利用性或再循環性

  • 符合再利用性或再循環性的設計

  • 設備供應商應準備的文件

    • 참조된 SEMI 표준

    SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
    SEMI S12 — 장비 오염 제거 지침
    SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침

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