SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境，健康および안보가이드라인 -

Abstract

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免責事項： このSEMI スタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

^E本standardは，句読点を修正する為， 2015年11月，編集上の修正が行われた。修正箇所は，타이틀데ある。

注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全gaidlineの公式な一部ではなく，mata安全gaidline本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。안가이드라이ンの利用を促進するために委員会が提供したものである.

本文書は，危険物質に曝露されたか，曝露された可能性があり，今後生産での使用を意図される製造装置（ME）および部品の汚染除去のための指針を確立する。今後生産での使用を意図される装置には，再使用，再販売，修理，再生matataは再配置のため提供される装置も含まれる.

本安全gaidlineは，地域，地区，国家，および国際の規制to組織の政策を適切に考慮して，各現場で採用すべきである。

本安全gaidlineは，個別の状況に存在することがある現実的な限界を認めながら，輸送前に汚染をできる限り除去するのに使用することを目的としている。多くの場合， MEを破壊しなければ，化学的に完全な汚染除去はできないことが認識されている。 ME 譲渡人は，残存しているすべての既知の潜在的な危険が明確に識別されていることをME譲受人に確保すべきである。

本安全gaidlineは，危険物質に曝露されたか，曝露された可能性があり，人の健康matataは環境に脅威を及ぼす可能性があるME および部品の汚染除去と取り扱いに適用される。取り扱い作業には，停止，解體，取り外し，ラベル付け，輸送前の梱包などがある。

本安全gaidlineは，汚染除去および汚染除去に関連して残留する危険を文書化するための最低基準を説明する.

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S16 — 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드

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