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SEMI S9 - SEMI S22전파 테스트 가이드 -
Abstract
本GAIDは, 글로벌 환경, 보건 및 안전 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日, global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2011 年2 月にwww .semiviews.org およびwww.semi.org에서 入手可能과 함께 할 수 있습니다 .
注意: 「注」の表題のついた段落は,本文書の公式な一部ではなく,mata本文書の内容の変更や書き換えを意図したものではない。
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第二の目的は,電気設計検証 testがSEMIstandardで文書化され,業界で用用されていたという簡潔な履歴を提供する ことである.
참조된 SEMI 표준 SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
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S00900 - SEMI S9 - SEMI S22전파 테스트 가이드
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