SEMI S8 - 半導體製造設備人因工程之安全基準 -

Abstract

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注意： 本基準中的正式數值皆以國際單位制（ SI ）表示.下列數值並非正式數值，僅供參考：

· 以吋- 磅(美規或英規)單位表示的數值,

·     내부 구조 , 그리고

·     SI 엔터테인먼트

SI 制經過單位轉換後的數值可能與實際SI 數值不同.

注意：本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容， 不得以此修改或取代正式的安全基準。委員會提供註解內容係為方便本安全基準的使用.

 

本基準係在提供半導體製造設備人因工程的設計原理及考量事項.

 

本基準的用意在於增進製造環境中使用者與設備之間的相容性.下列一般原理係人因工程設計及設備考量中不可或缺的一部分：

 

設備應採分工設計，以發揮最大的安全效果。分工應包含硬體，軟體及使用者的分工，以發揮個個最大能力，並將限制及危險降至最低。適當的分工也可讓效能最佳화。

 

設備 in 設計上應符合使用者預期的操作方式，以期將錯誤及事故機率降至最低.

 

設備的設計應符合使用者族群的體型、力量及活動範圍等特性，以減少疲勞及受傷，且此類設計亦可增進工作效能。

範圍

本基準著重於半導體製造設備的人因工程安全考量.為確保完整涵蓋所有能的危害，本基準部分內容亦包括一般性設計目標，以確保人機效能之有效性。本基準適用於半導體製造設備的設計, 操作, 保養及維修, 少部分內容適用於設備安裝(請參閱7.3 ).

참조된 SEMI 표준 SEMI E95 — 반도체 제조 장비용 휴먼 인터페이스 사양

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

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