SEMI S6 - 半導體製造設備排氣通風基準 -

Abstract

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本安全基準係在提供半導體製造設備（ 반도체 제조 장비 , SME )之排氣通風安全性能標準，以及評估此類標準的測試方法.

現現今強調能源效益及實體限制的趨勢下，使用者設施中排氣通風設備的最佳化越顯重要。採用高效益設計的排氣通風設施可防止人員、財產及環境之健康與安全受到傷害.本安全基準之目的係在提供排氣通風的效能、設計原理、測試方法及標準。

本基準適用於連接至使用者設施排氣通風系統之可排氣通風的半導體製造設備.

本文之標準應適用於（全部或部分）人員保護、設備保護及降低火災風險之排氣通風系統。

本文所述之效能與評估標準適用於所有由供應商提供予使用或其他供應商的設備，或是由供應商提供給其他供應商, 再由其他供應商提供給 사용 자의 부위 분할.

本文旨在協助半導體設備供應商依共同的性能標準來設計設備排氣通風系統，並協助使用者與供應商瞭解設備系統的各項排氣通風需求。但本文件非在建立設計之規範.

測試方法詳見第§ 8 08D0C9EA79F9BACE118C8200AA004BA90B02000000080000000E0000005F005200650066003500310035003500350031003400370039000000

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