SEMI PV15 - 太陽電池材料の表面ラフネスおよび테크체챠を모니타스루타메の角度分解光散乱測定条件の定義に関するgaid -

Abstract

本standared는, global Photovoltaics Committee で技術的に承認されている。現版は2010年12月21日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年2にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 거래가 가능합니다.

 

太陽電池産業において用いられる多くの表面は，光吸収を最適化して太陽電池効率を最大限に高めるために테크체챠加工される。必要なテクスチャは通常，低周波数to高周波数のラフネスの相対量がいずれも重要であるため，単一のラフネス，gros，mataはheiz仕様では明確に定義されない.

 

集光角（matataはいくつかの個々の角度）の範囲にわたって光散乱を測定することは，高速かつ経済的なモニタ手段となるが，ラフネス周波数の範囲にわたってTekschaを定量化化する ことはできない。そうした測定では，入射角，散乱角，光波長，開口，스폿트사이즈나どのさまざまな自由度があるため，比較可能な測定結果を得られるようにするには関係者の間で合意する必要がある.したがって，測定parameterを一意的に定義し，関係者間で容易に交換できるようにするための手段が必要である.

 

本gaid で は，表面 Tekscha の 違い に よ り 生じる散 乱 パ ター ン の 変化 を 記述する測定を可能にするための散乱測定条件の定義に必要な用語を取り扱う.良否や望ましいか望ましくないかの区別，散乱レベルの設定，あるいは実施すべき測定の決定は意図していない。

참조된 SEMI 표준

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI ME1392 - 반사면 또는 확산 표면의 각도 분해 광 산란 측정 가이드
SEMI MF1048 — 반사 총 통합 산란 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF1811 - 표면 프로필 데이터에서 전력 스펙트럼 밀도 함수 및 관련 마감 매개변수를 추정하기 위한 가이드

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