이 상품은 아직 리뷰가 없습니다.
SEMI PV13 - 온전전 센서를 사용하는 이타시리콘 웨하, 인곳트, 오비브릭크의 過剰電荷カリア再結合ライフタイムの 非接触測定に関する試験方法 -
Abstract
本standaredは， the Photovoltaic Materials Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年6 月4日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2013年8 月にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서는 2011年2 月発行。前版は， 2011 年11 月発行。
過剰電荷計計，製造，およびプロセスコントロールにおける中的心なparame-taである。このライフタイムの測定は，過剰カリア密度に基づいた物理的に意味のある結果が得られ，それによって太陽電池の設計の最適化や効率の予測が可能になる。本試験方法では，바르크라이후타임，表面再結合速度，ドーパント拡散のEmitta飽和電流密度など，太陽電池において重要である，より基本的なparameterの観点から，この再結合ライ후타임をさらに詳しく析するための方法についても記述する。この試験方法は，渦電流censaを用いた準定常状態光導電率（ QSSPC ）法および過渡法による測定を含む。
이 스탄다드로는 0.1 ～ 15,000 µs의 範囲内である시리콘웨하, 인곳트, および브릭크の過剰캘리아라이후타임을 測定するため의方法を記述する.
本測定は，過剰カリア密度がウェーハ試料の場合は1 × 1013 cm-3 ～ 2 × 1016 cm-3 ，barrk試料(厚さ1 cm 以上)の場合は1 × 1013 cm-3 ～ 5 × 1015 cm -3 개의 특별한 기회로 사용할 수 있습니다.
本文書で記述する方法は，抵抗率が0.1Ω∙cm ～ 10000Ω∙cm の範囲内である試料に用いる.
このスタンダードでは，weーhamataはbarrksilicon試料の評価用としてそれぞれ2種類ずつ，合計4種類の測定方法論を記述する。いずれの測定法も，無線周波数と照射光源で励起した誘導コイル（渦電流）sensaを用いて実行する。 2種類の方法ではQSSPC法を用いる。この技法では光生成を測定するため，光度検出器が必要である。また，用いるべき校正方法についても本文書の範囲内で取り上げる.
ウェーハ用過渡mod( 웨이퍼용 과도 모드 ) — この試験方法は，厚さが1 mm以下のウェーハ形状のシリコン試料に適している.は，過剰캐리아라이후타임가光照射の遮断時間と比較して長い場合に用いる。
웨하용 QSSPC 모드( QSSPC Mode for Wafers ) — この試験方法は，厚さが1 mm以下のweーハ試料に適している.このstandadeで記述するように，QSSPCmodは，光中起に取得したデータの分析によって라이프타임을 求める場合に用いる.
バルク物質用過渡mode( 벌크 재료용 과도 모드 ) — この試験方法は，厚さが1cmを超える試料の測定に用いるものとし，光照射の遮断時間よりはるかにいかにいかあらい후타임의 결정에 사용할 수 있습니다.
バルク物質用QSSPCmod( QSSPC Mode for Bulk Material ) — この試験方法は，厚さが1cmを超える試料に用いるものとし，光励起中に取得したでータの分析によってキャリア再結合ライフタイムを求める.
참조된 SEMI 표준
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF28 — 광전도성 감소 측정을 통한 벌크 게르마늄 및 실리콘의 소수 캐리어 수명 테스트 방법
SEMI MF43 - 반도체 재료의 비저항 테스트 방법
SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법
SEMI MF723 - 붕소 도핑, 인 도핑 및 비소 도핑 실리콘에 대한 비저항과 도펀트 밀도 간 변환 실습
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
이 상품은 아직 리뷰가 없습니다.
You May also Like
