SEMI P35 - 마이크로리소그라피메트로로지용어법 -

Name: P03500 - SEMI P35 - 마이크로리소그라피메트로로지용어법
Brand: semi.org
SKU: 12971
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI P35-1106 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standard는 글로벌 마이크로패터닝 위원회で技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で2006年8 月24日に発行が承認された。 2006 年10 月にwww.semi.org 에서，そして2006年11月にCD-ROM で入手可能となる。初版は2000年2 月発行，前版は2004 年7 月に発行された。

明確で普遍的に受入れられる定義が，metrologi機器の買手と売手の間で効果的に意思を疎通し誤解を防ぐために必要となる。本書の目的は，마이크로리소그라피데중要な메트로로지に関する問題を理解し論議するために，一貫性のある用語を提供することである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E89 — 측정 시스템 분석(MSA) 가이드
SEMI P28 — 집적 회로 제조용 오버레이 계측 테스트 패턴 사양

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