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SEMI P34 - 230mm 각형 포트마스크기판 부품 -
Abstract
알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本standared는 글로벌 마이크로 패터닝 위원회で技術的に承認されている。現版は2007年4月25日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2007年6月にwww.semi.org 에서 。初版は2000年2月に発行された。
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
公称edge長が230mmの名目上の方形フォトマスク基板に関するstandadeの要求条件を定義する.
本仕様は, 230 mm方形 フォトマスクの基板に関する情報を扱う.この情報には，物理的寸法，材料特性，および試験と測定基準などが含まれるが，これらに限定されるものではない.
참조된 SEMI 표준
없음.
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