SEMI P19 - 集積回路製造用 메트로로지파탄셀 -

Name: P01900 - SEMI P19 - 集積回路製造用 메트로로지파탄셀
Brand: semi.org
SKU: 11308
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI P19-92(0707 재승인) - 비활성

품목 옵션

Abstract

本standared는, 글로벌 마이크로 패터닝 위원회 で技術的に承認されている。現版は2007年4月25日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007 年6 月にwww.semi.org 에서 ，そして2007年7月にCD-ROM で入手可能となる。初版は1992年発行、前版は1996 年に発行された.

本standared は，集積回路製造に使用される마이크로파타닝装置，메트로로지용器具およびprosesに対して，量産適用可能な評価およ法びtest方を提供するために，幾つかの標準パターンを規定するものである.

참조된 SEMI 표준

SEMI P24 — CD 계측 절차

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SEMI P19 - 集積回路製造用 메트로로지파탄셀 -

本standared は，集積回路製造に使用される마이크로파타닝装置，메트로로지용器具およびprosesに対して，量産適用可能な評価およ法びtest方を提供するために，幾つかの標準パターンを規定するものである.

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