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SEMI P15 - 原子吸光分光法によるよるポジティブフォトレジスト・메타루이온후리（MIF）現像液中のナトリウムとカリウムの測定 -
Abstract
알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本stanダードは, Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので，North American Microlithography Committeeが直接責任を負うものである.現版は2004年7月11日 North American Regional Standards Committeeにて承認されている2004年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2004年11月発行に至る。初版は1992年発行。
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
この手順は，FoTレジストMIF現像液中におけるNatriumm及びカリウムの分析のためのフレーム原子吸光分析法である。
참조된 SEMI 표준
없음.
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