SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法による포지티브포트레지스트中の錫の測定 -

Name: P01400 - SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法による포지티브포트레지스트中の錫の測定
Brand: semi.org
SKU: 11298
Price: 285000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI P14-0997 - 비활성

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Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダードスタンダード日本語スタンダード版をごご利用にあたってにあたってのの注釈を本文本文の末尾に記載記載しておりますますますます「すべきべきであるである」「しなければならない」について等。。。。。

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

この手順は，FoTレジスト中の錫に対する黒鉛炉原子吸光分析法を述べたものである。sanprが1:10で希釈される場合，適用し得る濃度範囲0.1 에서 1ppm 으로. 4つの研究所間における持ちまわり分析において,0.1ppm以内であることが分かっいる。

참조된 SEMI 표준

없음.

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