SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法(ICP)による포지티브・포트레지스트中の鉄,亜鉛,카르시움,magnesium,銅,ホウ素,아르미니움,크롬,만간,及비닉케르의 결정 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P12-0997 - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項: このSEMIstandadeは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

この手順は,FO트레지스트中の鉄,亜鉛,카르시움,마그네시움,銅,ホウ素,아르미니움,크롬,만간,及びnikekerを測定するためのICP프라즈마発光である。適用可能な濃度の範囲は,산프르가1 に希釈された場合,0.1에서 1ppmである。

 

참조된 SEMI 표준

없음.

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