SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のtest方法 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩284,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P11-0308 - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項: このSEMIstandadeは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本standared는 글로벌 액체 화학 위원회で技術的に承認されている。現版は2007年12月20日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年2月にwww.semi.orgで。初版は1991年発行,前版は1997年9月に発行された。

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

本文書の目的は,アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のtest方法を提供する ことである.

単一matataは複数の変曲点に対する電位差計による酸アルカリの滴定は,滴定剤として標準化された塩酸を用して,自動記録滴使定器により達成される。規定度( meq/mL )は滴定器で得られたデータを使用して計算される.

참조된 SEMI 표준

없음.

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