{"product_id":"p00900-semi-p9-マイクロエレクトロニクス用レジストの機能的なテストガイドライン","title":"P00900 - SEMI P9 - 마이크로 전기공학용 레지스트의 기계류 테스트(가이드라인)","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 利用 にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「 「べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこのgaidlineの目的は，液體で現像されるレジスト，レジスト現像液，及びマイクロエレクトロニクス用デバイスのためのリンスを機能的にtestするのに必要的test手順の基礎prog ramを規定する ことである。それは更にそのようなSystemに対するproses修正を評価するためのgaidとしても使用できる。このgaidlineは，F\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eォト， \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eDUV ，X\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e線，及び電子ビームプロsesに使用しようとするものである.\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本書に示されている情報の公表は，SEMIレジスト委員会によって1987年5月に承認された。この委員会は，gaidlineを完成させ，適切に改定する予定であり，코멘트を歓迎している.\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e実質的には，全てのリソグラフてくる。その結果殆どのどーザに受け入れられるような厳しい評価programmを規定することは不可能である.それ故，変えられるが，prosesno相違を制御できるtestprogrammto方法を規定するのが本gaidlineの狙いである。それぞれのprosesに対して適切な基本的制御方法を維持するために，全てのTestは，その機能的特性が既知でありかつ特性化されている或る内部の標準製品を基準として実施されるべきである。それぞれ生の産は各自が所望するか又は推奨する条件に基づいて実施されるべきであり，異なる製品は異なる条件のもとで評価することができるということが分かっている。そして，或る性質，変数，又は規定度のような条件は，포지티브포트레지스토노ようなレジストタイプに特定され，適用できる場合のみ使用されるべきである말하는 것과 も理解されるべきである。更に，このgaidは機能的 testを指向しているの，評価されるべき製品は，そのような機能的 testの前に全ての関連のある化学的及び物理的 testをpassするものとされている.\u003c\/p\u003e \n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e참조된 SEMI 표준\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003e\u003cfont\u003e없음.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P9-0298 - 대체됨","offer_id":40234376527939,"sku":"13014","price":347000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_d77a2011-9331-4ce7-b7f9-6d22972f2ab3.png?v=1776701853","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/p00900-semi-p9-%e3%83%9e%e3%82%a4%e3%82%af%e3%83%ad%e3%82%a8%e3%83%ac%e3%82%af%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%8b%e3%82%af%e3%82%b9%e7%94%a8%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e3%81%ae%e6%a9%9f%e8%83%bd%e7%9a%84%e3%81%aa%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}