SEMI P5 - 페리크루 사양 -

Name: P00500 - SEMI P5 - 페리크루 사양
Brand: semi.org
SKU: 13003
Price: 284000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩284,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI P5-0704 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本仕様は， Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので， North American Micro lithography Committeeが直接責任を負うものである.現版は， 2004년 4 월 22 일 日North American Regional Standards Committee にて承認사레 ている。 2004年6月にまずwww.semi.org で入手可能になり，2004年7 月発行に至る。初版は1986 年発行，前版は1994 年発行。

참고: 本文書는 2004年， SEMI P5 ， SEMI P5.1 ， SEMI P5.2 をまとめて全面的に書き換えられた。

本仕様は，Fotrisografii露光目用用されるfotomaskumataはレチクルに使われるペリクルに対する要求項目について述べる。本仕様は広帯域光,多色光または単色光の露光systemに使われるペリクルについて述べる.

참조된 SEMI 표준

없음.

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SEMI P5 - 페리크루 사양 -

참고: 本文書는 2004年， SEMI P5 ， SEMI P5.1 ， SEMI P5.2 をまとめて全面的に書き換えられた。

本仕様は，Fotrisografii露光目用用されるfotomaskumataはレチクルに使われるペリクルに対する要求項目について述べる。本仕様は広帯域光,多色光または単色光の露光systemに使われるペリクルについて述べる.

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