SEMI P1 - 하드서페이스・포트마스크용기재 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는, 글로벌 마이크로 패터닝 위원회で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi.org 에서 。初版は1981年，前版は2001年11月に発行された。

E本standard는 2009년 6월, 編集上の誤りを修正するため改訂された.表A1-1 로 変更がなされている.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

注意： 本文書は2008年全面的に書き換えられた.

　

このスタンダードは，하드서퍼・포트마스크용가라스기板の一般的必要項目について規定する。

 

本standardでは, 7inch長を上限とする方形 フォトマスクを扱う。

　

mat ,本standaredは,次の材質に関する仕様を規定する.

高熱膨張品（ HTE ）

中熱膨張品（ MTE ）

• 低熱膨張品( LTE )
• 合成石英（ SFS ）
• 193 nm波長用高照射耐性合成石英（DSFS ）가라스

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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