{"product_id":"m08200-semi-m82-test-method-for-the-carbon-acceptor-concentration-in-semi-insulating-gallium-arsenide-single-crystals-by-infrared-absorption-spectroscopy","title":"M08200 - SEMI M82 - 적외선 흡수 분광법에 의한 반 절연 갈륨 비소 단결정의 탄소 수용체 농도에 대한 테스트 방법","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 테스트 방법은 적외선(IR) 흡수를 사용하여 GaAs의 탄소 함량 측정을 다룹니다. 테스트 방법은 탄소 함량과 치환 결합된 탄소(C \u003csub\u003eAs\u003c\/sub\u003e )의 국부 진동의 통합 흡수 사이의 선형 관계를 활용합니다. 300K(실온)의 측정 온도에서 이 흡수 밴드는 580cm \u003csup\u003e-1\u003c\/sup\u003e 에서, 582와 583cm \u003csup\u003e-1\u003c\/sup\u003e 사이의 77K에서 관찰됩니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 테스트 방법은 주로 SI 단결정 GaAs에서 대체 탄소의 결정을 다룹니다. 또한 다결정 GaAs 및 GaAs를 자유 캐리어 농도까지 전도하는 데 사용할 수 있습니다.\u003c\/font\u003e \n약 1 × 10 \u003csup\u003e16\u003c\/sup\u003e cm \u003csup\u003e-3 입니다\u003c\/sup\u003e .\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 테스트 방법은 1 × 10 \u003csup\u003e13\u003c\/sup\u003e cm \u003csup\u003e-3\u003c\/sup\u003e 와 용해도 한계(\u0026gt;1 × 10 \u003csup\u003e16\u003c\/sup\u003e cm \u003csup\u003e-3\u003c\/sup\u003e ) 사이의 탄소 함량에 적용할 수 있습니다. 하한은 측정 온도, 샘플 형상 및 분광계의 품질에 따라 다릅니다.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003e　\u003c\/span\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e300K와 77K의 측정 온도를 모두 사용할 수 있습니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e300K 측정의 장점은 다음과 같습니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e필요한 스펙트럼 분해능은 77K에서 필요한 0.1cm-1에 비해 1cm-1입니다.\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e저온 유지 장치는 필요하지 않습니다.\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e77K 측정의 장점은 다음과 같습니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e감도가 더 높음(따라서 검출 한계가 더 낮음).\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e탄소 함량이 낮은 참조 샘플이 필요하지 않습니다.\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e상업용 얇은 웨이퍼를 측정할 수 있습니다.\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eGaAs의 화학적 탄소 함량은 이 표준에 의해 측정된 치환 탄소 함량 C \u003csub\u003eAs\u003c\/sub\u003e 보다 높을 수 있습니다. 그러나 현재의 지식에 따르면 최첨단 단결정 GaAs는 C \u003csub\u003eAs\u003c\/sub\u003e 만을 포함합니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cspan lang=\"EN-GB\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e이 문서는 탄소 농도를 필수 재료 매개변수로 정의하는 SEMI M54, 가이드 for Semi-Insulating(SI) GaAs 재료 매개변수에 의해 제시된 로드맵을 따릅니다.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e \n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e참조 SEMI 표준\u003c\/b\u003e (별도 구매)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI M54 - 반절연(SI) GaAs 재료 매개변수 가이드\u003cbr\u003e SEMI M64 — 적외선 흡수 분광법에 의한 반절연(SI) 갈륨 비소 단결정의 EL2 딥 도너 농도에 대한 테스트 방법\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M82-0820 - 전류","offer_id":40234281926723,"sku":"14188","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI M82-0813 - 대체됨","offer_id":40234281992259,"sku":"4907","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true},{"title":"SEMI M82-0712 - 대체됨","offer_id":40234282057795,"sku":"9768","price":290000.0,"currency_code":"KRW","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_e5ffd2b6-b05a-453d-b38a-b9b6f402f695.png?v=1776702576","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ko-kr\/products\/m08200-semi-m82-test-method-for-the-carbon-acceptor-concentration-in-semi-insulating-gallium-arsenide-single-crystals-by-infrared-absorption-spectroscopy","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}