SEMI M79 - 太陽電池用円盤状100mm鏡面研磨単結晶ゲルマニウムウェーハの仕様 -

Name: M07900 - SEMI M79 - 太陽電池用円盤状100mm鏡面研磨単結晶ゲルマニウムウェーハの仕様
Brand: semi.org
SKU: 9753
Price: 284000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩284,000

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI M79-0211 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standared는 글로벌 화합물 반도체 재료 위원회で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年2月にwww.semiviews. org 에서 www.semi.org 로 연락할 수 있습니다.

本仕様では，半導体および電子デバイスの製造に使用される円盤状100mm高純度単結晶ゲrmaniumwe-hana基板に関する要求事項をカバーする。

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법
SEMI MF43 - 반도체 재료의 비저항 테스트 방법
SEMI MF154 - 경면 실리콘 표면에서 보이는 구조 및 오염 물질 식별 가이드
SEMI MF523 - 연마된 실리콘 웨이퍼 표면의 육안 검사 실습

SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법
SEMI MF534 — 실리콘 웨이퍼의 휨에 대한 테스트 방법
SEMI MF657 — 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 전체 두께 변화를 측정하는 테스트 방법
SEMI MF671 — 실리콘 웨이퍼 및 기타 전자 재료의 평면 길이 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF673 — 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 슬라이스의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF847 — X-Ray 기술로 단결정 실리콘 및 웨이퍼에서 플랫의 결정학적 방향을 측정하기 위한 테스트 방법
SEMI MF928 — 원형 반도체 웨이퍼 및 경질 디스크 기판의 가장자리 윤곽에 대한 테스트 방법
SEMI MF1390 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1530 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 편평도, 두께 및 두께 편차를 측정하는 테스트 방법
SEMI MF2074 — 실리콘 및 기타 반도체 웨이퍼의 직경 측정 가이드
SEMI T5 — 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양

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