SEMI M59 - 시리콘 기술의 用語集 -

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Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI M59-0211 - 대체됨

개정

Abstract

本standared는, 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2011年2 月にwww.semiviews.org およびwww.semi.orgで入手可能となる。

 

シリコン技術は集積回路（ IC ）および半導体데바이스産業の基礎者である。シリコンサプライヤと顧客および業界関係の共通の理解，正しい코뮤니ケーションを促進するために, この分野で 用される用語を定義する.

 

この用語定義文書は半導体用シリコン結晶およびweーハに関する用語の定義を取り扱う。

　

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습
SEMI MF1811 - 표면 프로필 데이터에서 전력 스펙트럼 밀도 함수 및 관련 마감 매개변수를 추정하기 위한 가이드

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