SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法 -

Abstract

本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2006年11 月21日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007年2 月にwww.semi.org で，そして2007 年3月にCD-ROM で入手可能となる。初版は2003 年11 月に発行された。

シリコン製造において，製品の処置は通常計量装置の出力次第である。例えば，製作物の一部は，1つmatataはそれ以上の測定された出力特性に基づき出荷されるか，廃棄されるか，作り直されるかする。 1つのcostmodelが，ある仮定과 条件下で運用する計量装置に関連する費用を見積もる方法を提供している.

本法は，計量装置供給者と使用者に，仕様書に適合する製品testをする際，測定変動と偏りに起因する製品の分類誤りに基づく費用を決定するための標準方法論を提供している。

本法は，異なったP/T （精度／許容）比を持つ測定装置購入の事前評価に役立つよう意図されている。mata本法は，１つの測定装置において， P/T 比が用いられるsruーputt modあるいは他の装置のset앗프要因によって変化する場合,異なったsruーputtmodudeの操作比較を行うのに役立つよう意図されている。本法は，使用者が特定のproses能力と必要条件に基づく最適な費用解決策を選択する助けとなる.

本法には，伝統的な費用構成要素（例えば装置，保守，操業およびスタッフのcost）のみならず製品の費用データは含まれない；各使用者は，設備に対し適用可能なビジネスモデルに基づき適正なデータを用いるべきである.

참조된 SEMI 표준

SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E89 — 측정 시스템 분석(MSA) 가이드
SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 S의 사양
EMI M59 - 실리콘 기술 용어

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