SEMI M45 - 300 mm웨하십핑 시스템 -

Abstract

本暫定仕様は，Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので， European Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである.現版は2003年4 月3 日European Regional Standards Committee によって承認されている200 3年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，200 3年7 月に発行に至る。 初版は2001 年3 月発行。

本standaードは，WeーHasaPraiyayakāra ユーザまでの300mmWeーHa輸送に関するトーtarcostoを最小にするために，関係する材料および시스템の輸送につき規定する。

참조된 SEMI 표준

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 임시 기계적 사양
SEMI T3 — 웨이퍼 박스 라벨 사양

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