SEMI M41 - 전자 데바이스/IC용 시리콘・온・인슈레이타(SOI)の仕様 -

Abstract

本standared는, 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2007年4 月25日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007 年6 月にwww.semi.org で，そして2007年7月にCD-ROM で入手可能となる。初版は2000年6月発行，前版は2001年11月に発行された.

本仕様は，半導体パワー用デバイス／ IC製造用の시리콘・온・인슈레이타(SOI )we-haに関する要求条件を規定している。試験方法と受入基準を定義することによって，유자토사프라이야の両者は製品の特性と品質に関する要求条件を明確にすることができる.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M34 — SIMOX 웨이퍼 지정 가이드
SEMI M53 - 패턴이 없는 표면에 폴리스티렌 라텍스 구체의 인증된 증착을 사용하여 스캐닝 표면 검사 시스템을 보정하기 위한 실습

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