SEMI M37 - 低転位密度Inp基板のetchpitt密度(EPD)測定方法 -

개정: SEMI M37-0699 - 비활성

개정

Abstract

本試験方法は，Global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されたもので， 日本地区standard委員会材料部会が直接責任を持つ現。版は1999年3月17日日に日本地区standard委員会にて承認された。 1999年4 月にまずSEMI On Line で入手可能になり，1999 年6 月発行に至る。

 

本文書は，低転位密度InPweーhanaのetchpitt密度（ EPD ）を測定する方法を規定する.

참조된 SEMI 표준

없음.

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