SEMI M32 - 최신 가이드 -

개정: SEMI M32-0307(0512 재승인) - 비활성

개정

Abstract

本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2006年11 月21日, global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007年2 月にwww.semi.org で,そして2007年3月にCD-ROM で入手可能となる。 初版は1998年9 月発行,前版は2004 7 月に発行された。

本仕様は,ユーザ・sapriyy間で合意された要求事項をベースにしている。本書には,Parameighta仕様の一部としてriskレベルを定義する系統的な仕様様式を記載している。このアプローチは,品質改善の成果に焦点を合わせ,sanpringを減らし,低riskを維持するために工程能力情報を用いる。確固とした信念を持つて,仕様により検査による品質確保に代わって,工程での品質確保に向けた活動を促進すべきである.

採用された方法が彼等の期待を満足させるために品質レベルを認め,相互に合意する ことは,供給者 およびその顧客にとり重要ある.統計的仕様は, これを行う便利な方法を提供する。

統計的仕様は,工程での品質確保に向けた活動を促進するために作成されている。それは,統計的に特性化されている工程に対して最も適切である。これは,有名な製品やあるいは顧客와 供給者をより満足させる製品を作り出す統計的分布の形状を目指している.mataそれは,現在のニーズに合致する ことが必要なレベルに対して,工程の統計的管理 および計測systemが決定されることを意味している.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M18 — 주문 입력을 위한 실리콘 웨이퍼 사양 양식 형식

SEMI M57 — 실리콘 어닐링 웨이퍼 지정 가이드
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI M61 — 매립층이 있는 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M62 — 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양

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