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SEMI M31 - 300 mm웨하노구출용 프런트오픈・싱핑복스노기공 -
Abstract
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SEMIstandard日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
本版は2008年5月3日，Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年6月にwww.semi. org 에서 .
本standadard は，weーハの品質を維持しながら，WeーHasaPraiyヤから顧客（主主にIC製造者）へ300 mm径WeーHAを搬送するのに用 される후론트오프닝식 핑복스(전면 개봉 배송 상자: FOSB)(을) 를 결정하세요.
本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，모쥬르성토互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。しかしながら，射出成型프라스틱크製のFOSBが本standardyに準拠して製造できるように，そしてそのFOSBがwe-ha輸送，dアの開閉時においてweーハ品質を維持するために使用可能なように，本standarは作成されている。
本standadeードが想定しているのは, FOSBがweーハ製造の最終段階でウェーハが詰められ,受け入れと検査を経て，IC工場内でFOSB에서 FOUP ，FO BITあるい는 오픈카셋트에 관심을 갖기위해 われることであり，IC工場内のproses工程で使うことは想定していない。we-haは自動化された装置によってFOSBからFOUP ，FOBITあるいは오픈카셋트に詰め替えられることが望ましい。¶ 5.4に記載のように，購入者側はFOSB 의 ドアを以下のいずれであるかを規定する必要がある.
¶ 5.4.1記載の手動操作用ドア
¶ 5.4.2 記載の自動開閉用ドア
참조된 SEMI 표준
SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송 및 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드에 대한 임시 기계적 사양
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)에 대한 임시 사양
SEMI E119 — 300mm 웨이퍼의 공장 간 운송을 위한 감소된 피치의 전면 개방 상자에 대한 임시 기계 사양
SEMI M45 — 300mm 웨이퍼 운송 시스템을 위한 임시 표준
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
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