SEMI M26 - 웨하노 運搬에 사용 가능한 100 mm，125 mm，150 mm，200 mm웨하식복스의 再利용 가이드 -

Abstract

本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年8 月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi.org で入手可能となる。

 

本文書는 100mm ， 125mm ， 150mm ， 200mm 웨하쉽복스노리유스에스루，복스洗浄業者，웨하供給者，웨하利用のためのgaidである。

 

その目的はウェーハ供給者から顧客への100 mm ， 125 mm ， 150 mm ， 200 mmWe hana 輸送に関する総costを削減する ことである.

참조된 SEMI 표준

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양
SEMI M45 — 300mm 웨이퍼 운송 시스템 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.