SEMI M24 - 鏡面単結晶 프레미암시리콘웨하노사 -

Abstract

本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2006年11 月21 日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2007年2 月にwww.semi.org で，そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1994年発行，前版は2005年11月に発行された。

本文書が規定するのは，半導体製造工程中におけるpartycrucauntinging，金属汚染monitaー，そしてfotriso工程中のパターン解像度測定に使用する公称径150 ～ 300 mmの未用 프레미암시리콘웨하노要求仕様である。프레미암ウェーハは，上記応用のためいくつかの項目においてより厳しい規格値を持ち，その他の項目では프라임웨하토同等かより緩やかな規格値を有수。

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M18 — 실리콘 웨이퍼의 주문 입력을 위한 사양 양식 개발 가이드
SEMI M45 — 300mm 웨이퍼 운송 시스템용 임시 사양
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

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