Abstract

本仕様は， global Silicon Wafer Committee で技術的に承認されている。現版は， 2010年8月27 日， global Audits & Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi. org 로 入手可能となる.初版は1989 年発行，前版は2003 年1 １月発行。

 

本仕様が意図しているものは，電子材料グレード単結晶シリコンインゴット成長のために用いられる多結晶시리콘の調達に使用する ことである。そのようなinゴットは，We-Haに切断され，その後，半導体데바이스 ，集積回路，마이크로 전기 메카니칼 시스템（MEMS ）を含む他の마이크로 전기 닉 부품의 製造に사용 사れ루。

참조된 SEMI 표준

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF1708 — Melter-Zoner Spectroscopies에 의한 세분화된 폴리실리콘 평가 실습
SEMI MF1723 - 부동 영역 결정 성장 및 분광법에 의한 다결정 실리콘 막대 평가 실습
SEMI MF1724 — 산 추출-원자 흡수 분광법에 의한 다결정 실리콘의 표면 금속 오염 측정을 위한 테스트 방법

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