SEMI M12 - 웨하 화면의 連続 영어 표기의 仕様 -

개정: SEMI M12-0706(1011 재승인) - 대체됨

개정

Abstract

本standared는, 글로벌 추적 가능성 위원회 で技術的に承認されている。現版は2006年5月16日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2006年6 月にwww.semi.org で，そして2006年7月にCD-ROM で入手可能となる。 初版は1988年発行，前版は2003 年11 月に発行された。

この仕様が規定するのは，시리콘や他の半導体웨어하용に提供される連続英数字markingである。we-hana의시리아르난바하웨하토데바이스의製造prosesにおける트락킹 および制御のために，適切なデータベース시스템に格納されたウェーハのプロパティと個々のウェーハをrinkさせるものである.

MARK に使われる基本的なコードを定義する ことで，この仕様はWeーハメーカーにより施されるWeーhamーkingの同一性を確実にするものである従って，自光学式文字読取（ OCR ）装置のパフォーマンス要求を簡略化する ことを可能にし，ウェーハを取り扱うことなく人が直接読み取る ことができ，matataweer ハレベルのproses変動を解明するのに役立つものであ루。

このマーキングコードが意図しているのは，広範囲なウェーハ製品（例えば，Eピ，SOI ，加工されたポリッシュドウェーハなど）に役立つことである。

참조된 SEMI 표준

SEMI M13 — 실리콘 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양

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