SEMI M6 - 太陽光電池用 シリコンウェーハの仕様 -

Abstract

本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2008年8 月29日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2008 年10 月にwww.semi.org で，そして2008年11月にCD-ROM で入手可能となる。 初版は1981年発行，前版は2007 年7 月に発行された。

 

참고: 本文書는 이전 에 SEMI M6와 SEMI M6.1, SEMI M6.2, SEMI M6.3, SEMI M6.4, SEMI M6.5(전면적 변경이 가능합니다.

 

本仕様は太陽光（ PV ） 電池の製造に使用されるシリコンウェーハの要求事項について述べている.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법

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