SEMI G95 - 작업용 450mm 웨하용 테이프 프레임 카셋트 전용 로드 포트의 인타페스 사양 -

Abstract

本standanardは， Assembly & Packaging Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年6 月4日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2013年6月にwww.semiviews .orgおよびwww.semi.org 에서 거래가 가능합니다.

　

本standaredは450mm용 테이프플레임카셋트(450TFC)のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置において，ロードポートの機械的なintaferesを定義したものである.この定義により，로드포트토캘리아의 相互運用性を確保し， 450TFCを用いた自動化が促進されることを目的とする.

　

本standadeのintaferos仕様は, 450mm용 테이프 플레임카셋트(450TFC)に準拠する캐리아によって駆動し,結合することを目的としているもので， 450TFCに適合している.

　

本standard는 450TFC로 로드포트의 차체에 인타페스의 전열을 가할 수 있습니다.

　

本standadeでは半自動( PGV 등)이나 auto 搬送( AGVやOHT 등)により450TFCをロード, ANROードする ことを想定している.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI G88 — 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양
SEMI G92 — 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 카세트 사양

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