SEMI G92 - 450 mm웨하용 테이프 프레임카세트 사양 -

Abstract

本standanardは， Assembly & Packaging Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年8月22日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2013年11にwww.semiviews .orgおよびwww.semi.org 에서 2012년 4 월부터 시작됩니다.

　

본스탄다드의 특징은 웨하마운팅프로세스와 다이본딩프로세스의 450mm 웨하용 테이프플레임카셋트의 메카니칼형상화를 위한 것입니다.

　

本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，모쥬르성토互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定める ことである.

　

テープフレームカーセットのメカニカルインタフェースのみが規定されている.すなわち，材料の種類や清浄性については定義しない。

　

本스탄다드は半自動（PGV）とauto動搬送（AGVやOHT）両方に対応する450mm웨하용후레임카셋트を規定する.手動搬送は想定していない。

　

450mm웨하용테이프플레임카세트는, 아래의 콘포넨트와 오프션콘포넨트를 가능하게 합니다.오프션콘포넨트는, 450mm테이프플레임카세트(TFC)로はなく，顧客の要求や製造上の問題がある場合に追加される。

　

상면

• 탑카바(option)

• 오트메이션후란지(option)

　

内側

• テープフレーム13枚分または25枚分の棚板

• テープフレーム飛び出し防止機構

側面

• フォークリフト対応

　

背面

• 背面カバー（option）

• ラベル貼付領域（option）

　

가게면

• 3 본의 키네마틱캅링핀과 결합하는 모구

6つのテープフレーム카세트検出用パッド

テープフレーム飛び出し防止機構解除用バー（option）

참조된 SEMI 표준

SEMI G88 — 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양

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