SEMI F103 - 스텐레스스치르제 原料容器(캐니스타)の形状の仕様 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는 글로벌 액체 화학 위원회で技術的に承認されている。現版は2006年11月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2007年2月にwww.semi.org 으로。

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本文書は，原料容器の最大外径，最大高さ および内容積を規定するものである。薬液を入れるために設計されたstenresschyール製液體原料容器(以下，原料容器)は，프로세스装置노바브라 ，mataは半導体/FlattPaneldissplayi製造の薬液分配systemの容器として使用される。

　

本文書は，円筒形状で安定に保持するために底部がフラットもしくは底部にスカートを保有する容器を対象とする.

　

内容積が40 릿트루を超える原料容器は，本範囲の対象外とする。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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