SEMI F88 - 1.5인치형 서프마운트형 가스종합시스템용 스탄다드사이즈마스후로콘트로라/마스후로메타의 확대법에 관한 사양 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8 月30日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる.初版は2004年3月発行.前版は2012年3月発行。

　

本standard는 1.5인치 타입 서프마운트형 가스 供給 시스템용 마스플로 콘트로라/마스플로미터의 특수성(仕様)과 機械的な寸法을 規定する.

　

本standardは, konpo-nentの共通する 要求事項, 레이아우트, 사이즈, 詳細な仕様, 寸法を含む.

　

本standardは, standadadsizemasfro-contro-ra/masfro-me-taに適用される.conpo-nenttは,上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される.

　

本standaードは， 308kPa(44.7psia)において50slm以下(窒素換算)の流量調整をするSystemのconsultantに適用 されるmatata，本standaードは， 20 . ° C 에 3445kPa(500psia) 사용 시圧のコンポーネントに適用 される.

참조된 SEMI 표준

SEMI E49.8 - 반도체 제조 장비의 고순도 및 초고순도 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F20 — 범용, 고순도 및 초고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품, 압출 성형품, 플레이트 및 튜브 사양

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