SEMI F84 - 1.125인치형 2파스나 기계 ​​서퍼마운트형 가스 개조 시스템용 3포트 콘포넨트(MFC/MFM을 유지)의 새로운 기술 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8 月30日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる.初版は2004年3月発行.前版は2012年3月発行。

　

本standard는 1.125인치 타입 서프마운트형 가스 供給 시스템용 3포트 콘포넨트의 특수성(仕様) to 機械的な寸法を規定する.

　

本standardは, konpo-nentの共通する 要求事項, 레이아우트, 사이즈, 詳細な仕様, 寸法を含む.

　

本standardは, 3port・2phasnaーconpo-nent(마스후로콘트로라/마스플로미터미터を除く)に適用される.konpho-nent(바르브，圧力調整器，圧力変換器, フィルター, 清浄器など)は,上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される。

　

本standaードは， 308kPa(44.7psia)において50slm以下(窒素換算)の流量調整をするSystemのconsultantに適用 されるmatata，本standaードは， 20 . ° C 에 3445kPa(500psia) 사용 시圧のコンポーネントに適用 される.

참조된 SEMI 표준

SEMI E49.8 - 반도체 제조 장비의 고순도 및 초고순도 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F20 — 범용, 고순도 및 초고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품, 압출 성형품, 플레이트 및 튜브 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.