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SEMI F77 - 腐食性のgassysteme 사용 される合金表面の気化学的臨界孔食温度のtest方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本standared는, 글로벌 가스 위원회 で技術的に承認されている。現版は2009年12月16日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2010年2月にwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年7月発行。
注意： 本文書は，編集上の修正を伴って，再承認された。
この test方法の目的は，半導体製造のための腐食性gas配管Systemに使用されるコンポーネントの接液表面の相対的な耐孔食性を決定する ことである。本test方法は，接液表面の耐腐食性能を改善する ことを意図した合金組成とprosesを区別する ことを意図している.
本test方法では，電気化学的臨界孔食温度（CPT）に基づいた手順を説明する.つ配管や試片の接液表面の耐孔食性のランク付け行う。孔食は，半導体用のgas供給Systemの主要な腐食破壊形態であると思われる。特に溶接されて腐性gassに食さられるコンポーネントや配管で問題である.
本test方法は, ASTM G150의 改作である.実行方法を記載する。これは，水溶液浸漬법으로.
本test方法は，再現性がよく，耐腐食性の定性的（目視）評価に加え，定量的評価（臨界孔食温度）を提供する.
本test方法は， § 4.1 で参照 されるSEMIstandardで規格化されている材料およびそれらの材料の溶接部に適用される。
本test方法은 § 4.1로 規格化されていないその他の耐食性合金およびそれらの溶接部にも使用できる。
참조된 SEMI 표준
없음.
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