SEMI F74 - 가스계열시스템에 사용하기 위한 금속시르의 성능과 성능에 대한 테스트 방법 -

Abstract

本standanardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年6 月にwww.semi.org で入手可能となる. 初版2002 年11 月発行。前版は2003 年11 月発行。

 

本書は, Gass供給 SystemでのMetar シール設計の使用を評価する ためのtest方法である.表面実装typeのgasstem および従来のmetal 面シール継手systemの両者をカバース루。

참조된 SEMI 표준

SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 파이핑 성능 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

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