SEMI F73 - stenress鋼部品の接gas表面状態の走査型電子顕微鏡(SEM)による評価test方法 -

Abstract

本standanardは, global Gases Committee で技術的に承認されている.現版は2009年1月2日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2009年2月にwww.semi.orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2002年11月に発行された。

　

本書 で は，高純度のgas配管systemに取り付けられる stenress鋼部品の接gass表面をtestする標準的手順を定義する。この手順は，接gass表面に現れる微視的な表面欠陥および汚染物の発生や頻度，場合によってはそれらの定方法を定める.との間には，直接的な相関関係は無いことに注意しなければならない。本test方法を適用するにあtaっては，構成部品の品質認定を目的として，本方法を用いる使用者の間で比較可能かつ再現性のある結果を得ることを目的としている。

　

本方法の目的は，表面状態に関する重要なParamericaを正確で再現性のよい測定値を得るため，分析装置的各種parameterato諸条件を全體に記述することである。

 

本手順は，stenress鋼製の配管，継ぎ手，バルブ，その他の構成部品の接gas表面に適用し，表面仕上げと洗浄方の有効性を決定する。この手法は，接gas表面上の表面欠陥（ pitt，介在物，列状介在物，skratchi傷，残留prosesmark，粒界，汚染物など）の個数を記述する。しかし，試験材準備中に発生表面た傷は評価の対象から除外する。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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